案例分享 | 廣東大型半導體外延晶片潔凈廠房裝修項目解析

       隨著5G通信、人工智能、新能源汽車等產業(yè)的飛速發(fā)展，對高端半導體器件的需求呈爆炸式增長。外延作為制造射頻前端芯片、功率器件和高端光源的核心工藝，其質量直接決定了芯片的性能與良率。

       該項目作為大灣區(qū)重點項目之一，建成后將成為碳化硅(SiC)外延片產業(yè)鏈的強大引擎，打造高端晶片制造業(yè)的行業(yè)典范，助力半導體產業(yè)發(fā)展。本次項目將打造具有國際競爭力的“總部+制造+配套”一體化產業(yè)綜合體。

       半導體外延晶片凈化工程項目涉及恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)、內裝工程、智能化與自控系統(tǒng)項目、暖通、電氣工程、PCW工藝冷卻水、RO/DI反滲透、壓縮空氣等綜合性建設項目。合景凈化工程公司為客戶提供車間整體規(guī)劃、設計、采購、施工、調試交付等全過程EPC總承包服務。

十級電子凈化工程裝修注意事項：

       潔凈區(qū)封閉管理：采用氣密性良好的圍擋材料，將施工區(qū)域與外部環(huán)境完全隔離。設置獨立的人員、物料進出口，并安裝風淋室、傳遞窗等凈化設備。人員進出必須更換潔凈服、鞋套，佩戴口罩、手套，經過風淋除塵后方可進入。

       空氣凈化系統(tǒng)：施工過程中，持續(xù)開啟空氣凈化系統(tǒng)，確保潔凈區(qū)內的空氣始終處于凈化狀態(tài)。根據施工進度和區(qū)域，合理調整送風量和換氣次數，保證潔凈區(qū)的潔凈度等級不低于設計要求。定期對空氣進行檢測，實時監(jiān)測空氣中懸浮粒子的數量和粒徑分布。

       溫濕度控制：嚴格控制潔凈區(qū)內的溫濕度，溫度一般保持在22±2℃。相對濕度控制在45%-65%。安裝溫濕度傳感器，實時監(jiān)測并反饋數據，通過空調系統(tǒng)進行精準調節(jié)。確保潔凈區(qū)與相鄰區(qū)域之間保持合理的壓力差，一般潔凈區(qū)相對非潔凈區(qū)保持5-10Pa的正壓。

       材料和設備檢驗：所有進入施工現場的材料和設備必須具備質量合格證明文件，并按照相關標準進行檢驗。對于凈化工程中常用的彩鋼板、高效過濾器、風管等材料，要檢查其規(guī)格、型號、性能是否符合設計要求。設備方面，要對空調機組、風機等設備進行試運行，確保其性能穩(wěn)定、運行正常。

       空調機組安裝：車間內空調機組是空氣處理的核心設備，其安裝位置要合理，便于操作和維護。在安裝過程中，要保證機組的水平度和垂直度，連接管道要密封良好，防止空氣泄漏。機組安裝完成后，要進行調試和試運行，檢查機組的各項性能指標是否符合設計要求。

       電氣系統(tǒng)要求：電子凈化工程的電氣系統(tǒng)要滿足潔凈、安全、可靠的要求。電線電纜的敷設要采用暗敷或橋架敷設方式，避免在凈化區(qū)域內明敷。電氣設備的安裝要牢固、整齊，接地良好。在凈化區(qū)域內使用的燈具、開關等電氣設備要選擇密封性好、易于清潔的產品。

       關于廠房凈化工程建設，歡迎您持續(xù)關注我們合景凈化工程公司的網站，我們會為您持續(xù)講解新能源電池潔凈車間、電子光學潔凈車間、生物制藥潔凈車間、醫(yī)療器械潔凈車間以及食品日化潔凈車間等施工流程、各項要求以及解讀各類工業(yè)潔凈廠房標準。